东洋纺：用于柔性薄膜晶体管基板的新型聚酰亚胺薄膜

胡春明：感谢谢总，我们在全球权威数据发布会环节，本来是安排谢总做演讲的，现在提前了。我们继续回到专题演讲，下面有请东洋纺株式会社柔性基板开发组的渡边直树发言!

渡边直树：大家好，我是东洋纺的，我叫渡边，今天要感谢主持人以及赞助商、主办方能够给我这样一个发言的机会，非常感谢，我不能讲一些宏观的东西。我想讲一些我们公司所开发具体的技术。

我想讲两点，一个是我们公司开发的PI膜，第二个是我们要把PI膜放在工厂里面使用的时候，玻璃切割所开发的技术。可能各位对我们公司也不太熟悉，所以首先要介绍一下我们公司的情况，我们公司的准则是顺理则裕，公司总部在大阪，在国外也有很多分公司，像在中国大陆的上海、常州等等都有我们的分支机构。我们的员工人数是9000多人。行业的领域主要有四个，一个是材料，另外还有一个显示器方面，我们会提供一些膜。

首先，我想介绍一下柔性TFT它的要求和对基板的要求，柔性TFT需要柔性，也需要轻量化和更薄。因为是柔性，它需要可绕、可卷曲、可折叠等等。但是膜的话需要有一定的强度，而且有一定的厚度，这样就可以实现柔性了。但是要直线TFT的话需要有高温，我们公司所设计的是400度甚至以上，另外还要实现高清晰度。也就是说作为膜的特性来说，在400度以上具有高热性，表面需要平滑不能太粗糙，这些都是我们在技术开发时所关注的焦点，这是PI膜的三个特点。

左上角是耐热性，我们把膜放在热的板上，然后会看到这个膜随着温度的增加会发生变化。PI膜和一般膜相比，一般膜它的耐热性是有的。但是它的尺寸会发生变化，比如说会发生翘曲。但是我们公司所研发的PI膜达到450度的时候还可以保持平滑，另外是尺寸的稳定性，这是左下角所看到的，下面是温度，上面是热膨胀性，大家可以看到玻璃板是绿色的，蓝色的地方是一般的膜。

随着温度的升高，它会逐渐的膨胀，它会与玻璃的膨胀性有巨大的区别。我们从室温到450度，基本上它的膨胀率和大家所看到玻璃的膨胀率是一致的，还有表面的平滑度。一般来说普通的膜，我们为了保证它的掌控性需要有一定的凹凸，但是如果你引用在柔性TFT的时候，这种凹凸会形成一种阻碍。所以我们通过调整加工过程使得PI膜更加的平滑，我们用数据来显示PI膜的表现，我们看到红的是PI膜，绿色的是玻璃。

我们看到厚度是五到三十，特别想说的是热收缩和热膨胀情况，以及表面的平滑性，这三点我们看和一般的膜相比，我们的PI膜有了很大的改进，它的特性甚至接近于玻璃。

这是和玻璃和一般膜，我们所开发的PI膜在雷达表上进行的对比，我们可以保证加工性。另外，还可以保证与玻璃相同的热膨胀性和平滑性。所以可以用在像TFT的玻璃基板上。

以往我们说到OLED传感器，我们和客户一起进行了研究，进行材料的替换。所以让很多大的客户都采用了我们的膜，为整个成品的轻量化和薄性化做出了贡献。

接下来想说膜的使用非常困难，因为它的掌控非常困难。所以在这个时候我们开发了一个在玻璃基板上使用的技术，用在柔性TFT的技术需要直接去使用，但是从尺寸和耐热性，还有一个新的加工工艺的角度和高清晰度方面有很多的问题。所以我们公司开发了把PI膜贴在基板上的技术。一个是耐于TFT高温的加工，最后它也可以简单的进行剥离，在玻璃上进行贴合的时候，大家一般使用清晰。所以接下来我们想对比清晰的加工来看一下我们这种技术的优势。

我们先进行加工，然后再进行加热，长时间进行加热加工，之后进行TFT的加工和元器件的加工，之后用激光进行剥离。我们在玻璃上暂时的固定膜，然后再进行加热加工之后，再进行简单的剥离。也就是说两个加工工艺相比，我们可以看到下面的加工工艺非常简单，而且它可以耐热。而且也无需激光，所以它的初期投资比较少，而且它的运行成本也相对比较低。

我们用这样一个表来进行对比，我们所看到的这种玻璃的技术或者是加工工艺中的错位，包括其他的问题我们都进行了改善，可以从绿色的数据来进行演示。

首先我们看到剥离的情况，在广域的情况下可以保证相对均匀的剥离，下面是温度，上面是强度，我们从玻璃上以90度的角度进行剥离的时候，我们可以看到它既没有特别强的力，也没有特别弱的力，温度是450度，这是加热之后玻璃强度变化的情况。玻璃强度是这里所显示的数字，即便在较弱的情况下也可以进行剥离，通过这种技术的实现剥离技术就相当轻松了。

我们固定在玻璃基板上的膜进行剥离，然后我们看轴的情况，蓝的加热前，红的是加热后。接下来是力学方面的特点，在加热之前它的特点是相对比较有优势的，但是在加热之后，我们看到它的强度等等都可以保持的很好，我们有非常好的优势，所以可以采用在传统的TFT工厂里面，可以以较低的成本进行柔性TFT的生产。

我们公司东洋纺是生产膜的厂家，我们通过膜或者是通过贴合在玻璃的方式来向客户提供产品，我们也可以进行切割，这种尺寸可以应对4.5代，而且它的厚度是从16到38，贴合在玻璃上的时候，刚才我介绍了，它可以保证比较弱的玻璃强度，它可以应对3.5代到4.5代的尺寸。因为对于客户担心玻璃强度比较弱的话，所以我们可以提供更强的玻璃强度。我们公司明年十月份将会增资对膜的生产，所以针对六代的产品，我们明年也可以提供相应的膜的产品。

我们公司所开发的PI膜，它的热膨胀低，表面平滑，耐热性高。所以说以往所使用的玻璃基板都可以通过这种膜的使用进行柔性TFT的生产，以上就是我的介绍，谢谢各位的聆听。