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迈康尼电子设备:为高端显示屏做出新一代掩膜版

作者:电子信息产业网来源:中国电子报、电子信息产业网发布时间:2017-10-17 13:26我要评论

朴永镇:非常高兴来到这里,我想跟大家讲一讲我们为高端显示屏做出新一代光掩膜版的技术,首先还是要介绍一下迈康尼公司,我们已经有四十年的历史了,我们有九百个员工在十个国家。同时包括我们迈康尼中国,我们有获得了450个专利,同时我们通过创新来不断的发展使公司盈利。迈康尼有不同的业务单元,比如说有光掩膜技术和激光切割技术,以及为高端的显示产品提供服务的技术,之后我会给大家做进一步的介绍。

我们前面谈到了安装的解决方案,大家可以看到我们在不同的领域。比如说我们有迈康尼,还有AI不同的合作伙伴,我们会提供给系统供应商,AI是美国的公司,我们给他们提供安装的解决方案。

现在我给大家大概讲一下目前掩膜版技术在全球的应用,我们知道随着屏幕显示不断的增大,对技术的要求也逐渐复杂起来,所以对于分辨率的要求也非常高,特别是在生产环节,这是我们要解决的问题。现在我们随着屏幕尺寸的不断增大,同时对分辨率的要求也是非常高的。所以也对光掩膜技术提出了非常大的要求。

我们看在智能手机这一块从LCD到AMOLED的转变,新的显示器体现了更好的发展趋势,同时在不改变手机大小的情况下有更大的显示范围。同时对于分辨率也有更好的要求,比如说对颜色的保真度和其他的要求也有相应的提高。同时我们还会要求这样的设备要更加安全,这个实际上对于光掩膜技术来讲也提出了更高的挑战。我们有相应的技术开展出来,同时我们也相信分辨率的提高对于显示行业非常重要,同时我们可以提高显示的质量以及通过这样的创新来实现这样的质量。所以我们需要在像素以及像素结构方面做的更好。

我们知道显示质量在它的量度和色域的还原度方面做出的要求。我们看了一下note8对显示度有非常高的要求,因为我们知道发光二极管有非常高的要求。同时我们在未来显示行业从制造者的角度要提高产量和生产率,同时我们目前最新的产品,美国的产品能够达到超过60%%的产量。同时我们还需要达到均一性,这样能够提高辨识度,同时我们会有更小的结构,特别是像素结构来满足清晰度的要求。

同时我们知道在显示行业里面,我们要能够达到不同的层级叠加的精准度。所以在更好的光掩膜版技术能够确保均一性和对正性,我们开发了另外的技术来解决对正性的问题。

现在我给大家讲一讲对于未来基于液晶显示和半导体显示的要求,实际上对于液晶显示特别是从各个角度来讲,我们已经需要达到比之前技术高很多的要求。我们知道Prexision-800的表现非常优异,我们知道对于产品的要求,我们可以看到对于Prexision-800的表现需要更加可预测。特别是看过去二十年前有350nm-node的要求,同时我们也有这样的发展趋势。现在从供应链的角度来讲我们提出了更高的要求,我们也需要发展出更好的能够满足现在显示发展要求光掩膜的技术,进而能够支持它的发展。

我们可以看看Prexision-800,这是去年出来新的技术和设备之前还有Prexision-80技术,所以我们需要有更好的光掩膜版技术用来不断的提高镜头表现以及高的分辨率,同时生产率也是非常重要的。现在我们必须要不断的提高,从产量和效率的角度,我们需要更多的硬件和软件来支持,中间是P80的平台。

我们再看看Prexision-800主要的优势是什么,首先是它能够界定出新的分辨率的标准。实际上我们之前能够达到P800LS到550nm的要求,同时它能够达到250纳米辨识度。二是有更好的图像还原,我们可以看到OPC的结构,实际上光掩膜技术从P800过来,它会有更好的光还原,因为它有更好的像素内部的尺寸,这样可以更好的实现像素的还原。三是它有非常好的CD控制,前面谈到了对二极管电稳定性的控制非常重要,它能够使得光掩膜版有更好的技术,所以它最重要的一点就是要有CD均一性的控制。最后也是最重要的优势,就是它能够提高色彩的均匀度,我们可以看到它可以解决颜色色域之间毛边的问题,进而提高整个色域的表现,最终提高显示产品的色度的表现。

另外,我想谈一下再修正,对于光掩膜版或者是对显示来讲都是非常重要的。我们知道目前的发展趋势,一般来讲人们主要专注于生产显示的面板。所以面板的生产技术不断发展,要求我们有更好的Z修正技术,进而保证高质量面板的生产。所以我们会用这样的Z修正来解决不同叠加层级对正的问题。这是光掩膜版表面的情况,我们可以在不同的光下书写颜色等等。我们在叠加不同层级的时候会出现错位等等。但是我们能够确保它的中间位置不变的情况下能够实现不同光掩膜版的层叠之后,光照之后实现很好的对正性,进而能够对偏差进行修正。所以说对于Z修正对于光掩膜版的光照以及不同层压叠的时候能够达到很好的对正性,所以对正性的技术也在不断的提高。

我们有两个不同质量的光掩膜版,一个是BTV低于10微米,同时它的背板也是低于10微米的标准,这是我们最新版本的光掩膜版,它能够达到850×1200。同时我们使用最新的技术进行曝光以及校准,这样的话能够确保有更好的对于在不同的情况下进行对准或者是分析。

我们可以看看上面是对准的表象,我们都知道在没有修正之前可以看它的对准情况是比较差的。而且它会有很多变形,但是如果我们使用了Z校准之后,它会达到比之前好三倍的对正性的表现。同样,我们可以看看第二幅图也有同样的对正性的表现,你可以看有Z校准和没有Z校准对于变形的表现,所以对于显示面板的修正来讲对准性是非常重要的,而且使用和不适用Z校准可以达到非常大的区别,而且使用的话可以比不适用好三倍。

应该说对于光照对准,我们看可能会出现非常大的变形。但是如果我们使用了Z校准之后,依然可以把较大的变形纠正到比较好的位置。所以对于面板生产来讲很重要,这是同样的情况。我们可以看能达到1.67微米面板对正性的要求。下面这幅图可以校准到140纳米,我们觉得它会有比较特别的对正性的特点,这是我们在所有的案例里面都能够体现出来的,当然我们加载不同层级的时候会出现这样的情况。我们需要不断的提高它的对准情况,这是在所有的光掩膜版加照的过程当中实现的。

刚才谈到了能够使它的对正性提高三倍,这是在显示面板的层面上有非常大的帮助。我们可以看到在生产面板过程当中即便有非常大的变形,我们依然可以用这样的校准来完成对正性的表现。同时,我们可以看看在出现二次曝光的时候,它也有同样能够表现出对正性的要求,如果我们能够采用Z校准的话,这样的话它能够提高整个显示面板的表现,这是我今天的总结。Prexision-800和Z修正,它将会成为未来主流解决方案来克服显示制造方面的挑战。

正如我所介绍的那样,显示技术的趋势就是显示创新继续在所有的细分市场当中进行。Prexision-800将会是非常优秀的机会来使得我们利用现有的挑战,并且克服它们使我们能够高效的生产最新技术的显示产品,Z修正它是一种稳定的对正方式,无论你的生产条件怎样都会达到非常好的效果。

迈康尼是非常独特的制造商,能够使得我们支持最高级的显示光掩膜的制造,我们未来将会继续支持他们的生产,谢谢大家。


责任编辑:赵强

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