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台积电突发氧气污染事故

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在全球芯片产业紧缺的背景下,全球最大得芯片代工企业台积电一举一动牵动全球芯片产业神经。据媒体报道,29日晚间台积电最先进5nm工厂发生氧气污染,部分产线停摆。

台积电30日表示,台积电南科18a部分厂区来自厂商供应的气体疑似受到污染,但已即时调度其他气体供应。台积电强调,“为确保生产品质无虞,目前正进行严密后续作业。此事件目前已知对营运并无造成显著影响,后续将持续追踪。”

报道称,从目前情况看,台积电南科18a厂厂区仍维持正常出入,不过进出人员三缄其口。但报道指出,目前供货商都被挡在门外,且有消息称30日12时台积电18厂举行生产会议,由此判断,生产应该受到了影响。预计全力清理受污染的氧气槽,估计需花费三到四个工作日才能让生产作业恢复正常水准。

台积电31日重申,此事件目前已知对营运并无造成显著影响,后续将持续追踪。台积电强调,经内部评估,此事件并不影响产品交期。

半导体从业者表示,半导体生产工序多达700多道,约有270道需使用氧气,包括蚀刻、物理及化学研磨,几乎都是核心工序。

全球四大气体公司之一的林德(Linde)公司,为全球很多半导体公司供应气体,包括台积电等都是其客户,德林公司中国区总经理此前曾在接受媒体采访时表示“对电子行业而言,设备投资很贵,工艺要求很复杂,良率是竞争力的保证。要怎样得到好的良率,除了工艺保证之外,工业气体的纯度、稳定性、可靠性都是先决条件。业内最近两年发生过一些良率事故,都是因为气体纯度出了问题。”

台积电2019年第一季发生光阻液受污染,受影响客户包括苹果、高通、辉达、超微、海思、联发科等重量级客户,并造成单季营收短少五点五亿美元,毛利率减少二点六个百分点。

目前台积电18a厂处理的是目前台积电最先进的5纳米核心工序,生产项目是苹果下一代5G手机要用的核心处理器和美国超威半导体(AMD)的新一代处理器。台积电5nm制程今年进入量产第2年,下个月还将进入主力大客户苹果的生产高峰期,市场传出,苹果为iPhone13使用的A15处理器预定了上亿片的投片量,准备迎接新机备货潮,台积电的交货期间将自8月起至明年初。

台南厂区是台积电先进制程的核心厂区,供货对象都是国际知名大厂,所以其工厂的“风吹草动”牵动业界。在今年早些时候举行的台积电2021年技术论坛上,台积电营运组织资深副总经理秦永沛曾透露,台积电在晶圆厂区规划,位于台南厂区的晶圆十八厂,前三期厂房已量产5 纳米制程,第四期正在施工中,十八厂第五到八期是3 纳米生产基地,正准备中;晶圆十四厂第八期将是未来特殊制程生产基地,先进封装生产基地也在兴建中。

关于新竹厂区部分,秦永沛表示,为提高3 纳米与2 纳米开发与生产效率,原先计划的研发中心将改为晶圆十二厂第八期、第九期,其中第八期正在兴建中,将于今年完成,也计划建造一座生产2 纳米制程的新晶圆厂,目前正进行土地取得程序。

台积电目前仍在积极扩展产能中,秦永沛透露,台积电2023 年5 纳米产能与2020 年相较,将大增逾4 倍。

责任编辑:李佳师


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