工业和信息化部主管 中国电子报社主办
收藏本站投稿

设备材料

泛林集团的湿法清洗优化帮助芯片制造商提升设备性能

预防性维护

称之为“湿法”实为“干法”,这听起来像谜语,但对于等离子体工艺设备来说,答案就是“湿法清洗”,一种重要的预防性维护方式。

“湿法清洗”一词源自行业早期的预防性维护方式,即拆卸反应腔室并将石英部件浸入酸水冲洗,之后再晾干并重新组装。如今对于需要高精度维护的设备而言,其中唯一涉及“湿”的常用物质便是去离子水湿润过的无绒布,不过“湿法清洗”这个传统称谓却被沿用至今。所以,维护方式被称为“湿法”,但实际上却是“干法”。

预防性维护的目标是保持设备的正常运行和尽量减少任何计划外的停机,因为这种停机一般会严重扰乱生产、会导致较高的成本以及生产损失。如同一辆汽车,定期更换发动机油是最大限度延长汽车使用寿命和提升性能的关键。在刻蚀数千片晶圆的过程中,被去除材料的聚合物会在等离子体腔室的表面聚集。

我们需要处理这样的聚集物,一是因为它们可能成为污染源;二是它们有可能改变腔室内的感应或电导,由此影响等离子体的工艺。聚集物的处理主要依赖成熟的等离子清洁循环过程,但某些时候也需要定期对腔室进行预防性维护。

这种预防性维护的步骤数量和精度要求已有大幅提升。在2000年,整个维护过程只包含约35个步骤,如今的步骤数量已经超过150个,且对精度的要求也高很多。如此繁杂的维护过程和高精度需求致使维护失败率通常可高达30%,这不仅意味着生产损失,还会造成备件和测试晶圆的损耗,以及由此带来的成本大幅提升。

湿法清洗优化

为解决上述问题,泛林推出了名为“湿法清洗优化”(WCO)的服务,用于消除人为差异和提高预防性维护的成功率。如今WCO已经在全球被应用于大量的刻蚀和沉积腔室,帮助多个客户解决问题,例如提升产量以及大幅减少支出浪费等。

作为整体解决方案,WCO涵盖了专业设备、本地化多媒体分步说明、数据分析和专家支持(诊断维护问题和推动持续改进)。

专业设备

使用合适的设备可大幅提升生产力和效率并保护人员安全。WCO服务包可确保客户能随时随地获得所需要的标准和定制设备。

多媒体分步操作说明

预防性维护团队往往面临的一大挑战就是维护人员的更换(18个月的流动率可高达 100%),在这种情况下,分步骤程序说明和方便参照的操作文件就显得非常重要。

数据分析

这是WCO的一个关键组成部分,作用是将湿法清洗数据转化为可以使用的信息。推动持续改进的一大关键就在于通过高质量分析确定最需要改进的领域,并且测量和量化这些改进方法。

专家支持

由专业工程师推动问责、调查问题并推动系统性改进。

应用场景

我们将通过以下应用场景的介绍帮助大家更好地了解WCO的作用。

芯片制造商 A 在使用湿法清洗其等离子刻蚀设备时遇到性能表现无法预测的问题,且已经影响到设备的可用性。晶圆厂经理明白问题的原因是员工流动率高,但他无法通过内部培训或其他行动来改善当前的情况。在引入泛林的WCO之后,本地化分步操作视频可以帮助新员工快速了解情况,很快就实现了湿法清洗稳定的高性能表现。湿法清洗的耗时和设备的计划外停机有所减少,设备的正常运行时间和良率也因此得到改善。

芯片制造商 B 正在使用一个新类型的腔室进行良率爬坡并希望尽快实现高生产率。通过引入WCO提供的最佳方式,B的工作人员很快就掌握了操作要领,维护时间的差异降低,新的腔室快速实现了持续稳定的正常运行。

总结

WCO是一项能帮助客户自行成功完成预防性维护的方法。该整体方案融合了泛林的专有软件、数据分析和经过认证的清洁程序(含视频指导)。另外,WCO也是泛林集团Equipment Intelligence®的一部分, 后者是泛林基于其设备经验和数据打造的综合性生产力解决方案。

责任编辑:徐恒


声明

1、本站遵循行业规范,任何转载的稿件都会明确标注作者和来源;2、本站的原创文章,请转载时务必注明文章作者和来源,不尊重原创的行为我们将追究责任;3、作者投稿可能会经我们编辑修改或补充;4、如本站的文章或图片存在版权,请拨打电话010-88558835进行联系,我们将第一时间处理。

相关链接

视频

专题

2021年上半年中国家电市场报告

8月9日,中国电子信息产业发展研究院(又称赛迪研究院)发布了《2021年上半年中国家电市场报告》(以下简称《报告》)。《报告》显示,2021年上半年,我国家电市场加速回暖,零售额达4293亿元,同比增长16.3%;家电消费进一步向线上迁移,电商渠道对家电零售的贡献率达53.65%;家电产品均价普遍提升,高端家电销售热度不减,有效促进了消费升级...

新思想引领新征程·红色足迹

党的十八大以来,习近平总书记在地方考察调研时多次到访革命纪念地,强调要从中国革命历史、优良传统和精神中汲取养分。追寻红色足迹,感悟初心使命。即日起,本报推出“新思想引领新征程·红色足迹”专栏,跟随习近平总书记的红色足迹,访当事人、忆当年事,重温总书记的重要论述和重要指示精神,生动回顾红色圣地光荣的革命历史、优秀的革命传统...

聚焦2021年全国两会

3月5日,第十三届全国人民代表大会第四次会议在北京人民大会堂开幕。党和国家领导人习近平、李克强、汪洋、王沪宁、赵乐际、韩正、王岐山等出席,栗战书主持大会。初春的北京,处处生机盎然。第十三届全国人民代表大会第四次会议5日上午在人民大会堂开幕。近3000名全国人大代表肩负人民重托出席大会,认真履行宪法和法律赋予的神圣职责。

2021年全国工业和信息化工作会议

12月28-29日,全国工业和信息化工作会议在京召开。会议以习近平新时代中国特色社会主义思想为指导,全面贯彻党的十九大和十九届二中、三中、四中、五中全会精神,认真落实习近平总书记重要指示批示精神和中央经济工作会议部署,总结2020年工业和信息化工作,分析形势,部署2021年重点工作。工业和信息化部党组书记、部长肖亚庆作工作报告。

世界超高清视频(4K/8K)产业发展大会

会议

2021世界显示产业大会

6月17日,由工业和信息化部、安徽省人民政府共同主办的2021世界显示产业大会在合肥市开幕。安徽省委书记李锦斌出席开幕式并宣布大会开幕,安徽省省长王清宪、上海合作组织秘书长弗拉基米尔·诺罗夫、工业和信息化部副部长王志军出席开幕式并先后致辞。

2021世界超高清视频(4K/8K)产业发展大会

5月8日-10日,由工业和信息化部、国家广播电视总局、中央广播电视总台、广东省人民政府共同主办的2021世界超高清视频(4K/8K)产业发展大会在广州召开。5月9日,广东省委书记李希出席开幕式,工业和信息化部部长肖亚庆、广东省省长马兴瑞、国家广播电视总局副局长孟冬、中央广播电视总台编务会议成员姜文波出席开幕式并致辞。

CITE2021第九届中国电子信息博览会开幕论坛

4月9日,第九届中国电子信息博览会(简称CITE2021)在深圳举办。深圳市人民政府市长陈如桂、广东省人民政府副秘书长陈岸明、工业和信息化部电子信息司司长乔跃山出席开幕式并先后致辞。

2020世界显示产业大会

11月20日,由工业和信息化部、安徽省人民政府共同主办的2020世界显示产业大会在合肥市举行。在开幕式上,工业和信息化部部长肖亚庆、韩国驻华大使张夏成发表视频致辞。安徽省委副书记、省长李国英,工业和信息化部副部长王志军出席开幕式并致辞。

2020世界超高清视频(4K/8K)产业发展大会

11月2日,由工业和信息化部、国家广播电视总局、中央广播电视总台、广东省人民政府共同主办的2020世界超高清视频(4K/8K)产业发展大会在广州市召开。广东省委书记李希出席开幕式,省长马兴瑞出席并致辞。国家广播电视总局局长聂辰席、工业和信息化部副部长王志军、中央广播电视总台副台长蒋希伟出席开幕式并致辞。

2020世界VR产业大会云峰会

10月19日—20日,由工业和信息化部、江西省人民政府主办的2020世界VR产业大会云峰会在南昌举行。在10月19日的开幕式上,中共中央政治局委员、国务院副总理刘鹤发来书面致辞。江西省委常委、南昌市委书记吴晓军,工业和信息化部副部长王志军,江西省委书记、省人大常委会主任刘奇先后致辞。开幕式由江西省委副书记、省长易炼红主持。

世界显示产业大会

本周排行