设备与材料

洛阳中硅高科技有限公司总工程师严大洲:建立高纯理念是生产电子级多晶硅关键

作者:诸玲珍来源:中国电子报、电子信息产业网发布时间:2018-06-25 17:52我要评论

2017 年,中国集成电路进口金额 2600 亿美元,连续四年远超石油进口额。2018年4月,美国对中兴公司的制裁事件,凸显发展国产芯片的重要性与紧迫性。芯片虽小,已成为“国之重器”。

电子级多晶硅是集成电路产业上游核心原材料,我国政府雄心勃勃的发展规划以及各大企业对大硅片项目的投资,将驱动电子级硅材料向前发展。国家“强基工程”和集成电路产业投资基金(大基金)支持的中硅高科和江苏鑫华正在开展电子级多晶硅研究及产业化,采用全新的技术、设计、建设理念和系统装备,已有小批量投产并在用户试用和认证过程中,也有小批量供货的消息。此外,国内还有黄河水电、云冶芯材等企业也分别发布了电子级多晶硅量产的消息。伴随这几家多晶硅试产、试用和验证,中国电子级多晶硅将逐步实现量产、稳产及广泛应用。参照太阳能产业提质量、降成本的发展基础和经验,随着电子级多晶硅质量和成本控制经验的积累,中国电子级多晶硅市场份额会逐步提升,随后,市场竞争格局会发生根本改变,中国电子级多晶硅出口也将会水到渠成。

电子级多晶硅相比太阳能级多晶硅难点是建立高纯理念,建设高纯环境与生产系统,建立可实施、可控的质量保证体系。所谓建立高纯理念是从技术方案开始,要求贯彻高纯理念,按不同工序环节,设定对应的高纯环境要求、设备材质要求、施工安装要求等,包括原料质量控制,设备、管道、阀门装备质量控制,设备系统洁净化安装质量控制,系统投产前的洁净化处理及运行准备等等。

系统原料质量控制,包括三氯氢硅、氢气、硅烷、硅芯或晶种等关键原材料质量,配套的纯水、氮气、氩气、各种高纯化学试剂等。

重要操作过程控制,包括原料提纯与输送,多晶硅生产,硅棒(颗粒硅)收获、运输,硅棒破碎、腐蚀清洗、干燥包装等。按生产环节要求,控制环境空气洁净度,强化机械化、自动化操作,减少人为沾污。

按照多晶硅质量控制要求,建立多晶硅质量控制体系,包括进入还原炉的原料纯度与控制要求;还原过程精细化、标准化操作;根据产品质量目标要求,建立质量控制体系和质量预警体系,控制过程物料与操作。



责任编辑:诸玲珍
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