工业和信息化部主管 中国电子报社主办
收藏本站投稿

半导体

三星自研出透光率达88%的EUV薄膜光罩防尘薄膜

近日,有消息称,三星电子研发出了透光率高达88%的EUV光罩防尘薄膜,并且已经可以大规模生产,以应对未来需求,丰富供应链。

据了解,EUV光罩防尘薄膜可以在晶圆制造过程中保护掩模免受灰尘影响,最大限度地减少工艺污染并减少光掩模损坏,对于5nm或以下节点制程的先进制程技术的良率表现至关重要。

ASML在2016年首次开发出光罩防尘薄膜,当时的透光率为78%。在2018年,薄膜透光率提升至80%。在2021年5月,ASML透露,已经开始供应透光率超90%的光罩防尘薄,以提升EUV光刻机的效率。据悉,这款光罩防尘薄膜是ASML与Teradyne联合研发的,由日本三井化学代工,已经通过了400瓦测试,单价2.6万美元左右。

三星此前就表示,将在其3nm工艺中采用透光率超过90%的最新EUV光罩防尘薄膜以提高良率,这些光罩防尘薄膜将来自韩国公司S&S Tech。而此次三星成功自研出透射率为88%的光罩防尘薄膜,有望打破ASML和三井化学对EUV光罩防尘薄膜市场的垄断。三星还在积极投资韩国的材料厂商S&S TECH和FST,助力其在EUV光罩防尘薄膜方面的发展。预计,韩国EUV光罩防尘薄膜最早将在一到两年内实现商业化并应用于量产线。

此外,12月15日,同为韩国的半导体和显示材料开发商-石墨烯实验室(Graphene Lab)开发出了基于一款石墨烯制造的EUV光罩防尘薄膜。Graphene Lab表示,石墨烯制造的光罩保护膜比硅更薄、更透明。有望显著提高ASML的EUV系统生产芯片的良率。

责任编辑:许子皓


声明

1、本站遵循行业规范,任何转载的稿件都会明确标注作者和来源;2、本站的原创文章,请转载时务必注明文章作者和来源,不尊重原创的行为我们将追究责任;3、作者投稿可能会经我们编辑修改或补充;4、如本站的文章或图片存在版权,请拨打电话010-88558835进行联系,我们将第一时间处理。

相关链接

视频

专题

2023年全国工业和信息化工作会议

1月11日,全国工业和信息化工作会议在北京召开。会议以习近平新时代中国特色社会主义思想为指导,全面贯彻党的二十大精神,认真贯彻落实中央经济工作会议精神和党中央、国务院决策部署,总结2022年工作,部署2023年重点任务。

第5届中国—东盟信息港论坛

2022年9月16日,由国家互联网信息办公室、国家发展和改革委员会、工业和信息化部、广西壮族自治区人民政府联合主办的第五届中国—东盟信息港论坛将在广西南宁开幕。该论坛主要围绕数字经济发展和智能互联、数据互通、合作互利等开展交流研讨、建言献策,进一步推进互联网经贸服务、人文交流和技术合作。

2022“三品”全国行

为贯彻落实《国务院关于印发扎实稳住经济一揽子政策措施的通知》要求,加快推进数字化助力消费品工业“三品”战略实施,进一步提振消费信心、挖掘消费潜力,巩固增强消费对经济发展的基础性作用,工业和信息化部近期组织开展2022“三品”全国行活动。中国电子报特开辟2022“三品”全国行专栏,报道活动进展、专家观点、政策解读,敬请关注。

聚焦2022年全国两会

北京3月5日电 第十三届全国人民代表大会第五次会议5日上午在北京人民大会堂开幕。近3000名全国人大代表肩负人民重托出席大会,认真履行宪法和法律赋予的神圣职责。人民大会堂万人大礼堂气氛隆重热烈,主席台帷幕正中的国徽在鲜艳的红旗映衬下熠熠生辉。

2021年中国家电市场报告

3月3日,中国电子信息产业发展研究院(又称赛迪研究院) 发布了《2021年中国家电市场报告》(以下简称《报告》)。《报告》显示,2021年,我国家电市场全面复苏,零售规模达到8811亿元,同比增长5.7%,整体基本恢复至疫情前2019年的水平。

世界超高清视频(4K/8K)产业发展大会

会议

2022世界显示产业大会

11月30日,由四川省人民政府、工业和信息化部主办的2022世界显示产业大会在四川省成都市开幕。全国政协副主席、民革中央常务副主席郑建邦以视频方式出席开幕式并致辞。四川省委书记王晓晖出席开幕式并宣布大会开幕。

2022世界集成电路大会

11月17日,由工业和信息化部、安徽省人民政府共同主办的2022世界集成电路大会在安徽省合肥市召开。安徽省委书记、省人大常委会主任郑栅洁出席会议。安徽省委副书记、省长王清宪,工业和信息化部党组成员、副部长王江平出席开幕式并致辞。

2022世界VR产业大会

11月12日,由工业和信息化部、江西省人民政府共同主办的2022世界VR产业大会在江西南昌召开。国务委员王勇出席大会开幕式并发表重要讲话。江西省委书记、省人大常委会主任易炼红,工业和信息化部党组成员、副部长王江平,江西省委常委、南昌市委书记李红军出席开幕式并致辞。

2022CITE第十届中国电子信息博览会开幕峰会

8月16日,第十届中国电子信息博览会(CITE 2022)在深圳举办。深圳市人民政府副市长张华,广东省工业和信息化厅党组成员、副厅长曲晓杰,工业和信息化部电子信息司副司长史惠康出席开幕式并先后致辞。

2021世界VR产业大会云峰会

10月19日—20日,由工业和信息化部和江西省人民政府共同主办的2021世界VR产业大会云峰会在南昌举办。国务委员王勇出席大会开幕式并发表讲话,江西省委书记易炼红,工业和信息化部副部长王志军,江西省委常委、南昌市委书记李红军出席开幕式并致辞。

2021世界超高清视频(4K/8K)产业发展大会

5月8日-10日,由工业和信息化部、国家广播电视总局、中央广播电视总台、广东省人民政府共同主办的2021世界超高清视频(4K/8K)产业发展大会在广州召开。5月9日,广东省委书记李希出席开幕式,广东省省长马兴瑞、国家广播电视总局副局长孟冬、中央广播电视总台编务会议成员姜文波出席开幕式并致辞。

世界显示产业大会

本周排行