半导体

湖北兴福电子级硫酸品质攻关取得重大突破

作者:来源:中国电子报、电子信息产业网发布时间:2018-10-09 15:17我要评论

日前,湖北兴福电子材料有限公司(湖北兴福)电子级硫酸技术攻关取得重大突破,产品品质已完全超越SEMI-C12级别,与国际电子化学品最大供应商巴斯夫的产品品质处于同一级别(金属离子<10ppt),并向部分国内12英寸晶圆厂稳定供货。

电子级硫酸又称高纯硫酸、超纯硫酸,属于超净高纯试剂,主要用于硅晶片的清洗和蚀刻,可有效除去晶片上的杂质颗粒、无机残留物和碳沉积物。随着集成电路(IC)向大规模和超大规模、极大规模的发展,芯片集成度越来高,晶圆表面的光刻线条越来越精细,IC的更新换代速度越来越快,对电子级硫酸的品质要求也越来越严格。

湖北兴福是由我国最大的精细磷化工企业——湖北兴发化工集团股份有限公司控股,集电子化学品研发、生产、销售及相关技术服务于一体的综合性企业。湖北兴福依托于公司自主培养的电子化学品专业人才队伍与母公司80万吨/年工业硫酸项目,于2017年4月建成年产能1万吨的电子级硫酸项目,并高标准的配备了气相色谱仪(GC)、离子色谱仪(IC)、电感耦合等离子体质普仪(ICP-MS)、partical在线监测系统等一系列高端检测仪器及超净检测环境。在电子化学品激烈的竞争与芯片国产化需求的倒逼下,公司历经一年多的技术攻关,成功攻克电子级硫酸金属离子浓度不稳定这一关键难题,将产品中各金属离子浓度均稳定在10ppt以内,颗粒度完全满足客户要求,产品品质达到国内领先、世界一流的水平,这是公司继2018年5月份电子级磷酸品质取得重大突破以来,又一重大突破,由此湖北兴福电子级硫酸、电子级磷酸冲破国际高端电子化学品的技术垄断,与世界先进水平比肩而立、同台竞技。


责任编辑:诸玲珍

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