半导体

满足10nm~7nm制程 巴斯夫浙江嘉兴工厂电子级硫酸装置投入运营

作者:诸玲珍来源:中国电子报、电子信息产业网发布时间:2018-05-30 16:41我要评论

全球领先的化工公司巴斯夫5月30日宣布,其位于浙江嘉兴的新建电子级硫酸装置正式投入运营,将主要服务于国内日益增长的半导体制造行业。据悉,巴斯夫嘉兴工厂一期可生产12000吨电子级硫酸,今年年底投产的二期项目将使产能翻番。

据介绍,在制程小于10纳米时晶圆制造过程中需要经过数百道清洗工序,巴斯夫嘉兴工厂生产的电子级硫酸主要满足10mm~7nm制程,将主要用于此过程中半导体晶片的清洁。这一装置拥有先进的质量分析设备和配有专用无尘室的分析实验室,旨在满足中国电子行业客户的未来需求。

巴斯夫电子材料业务部亚太区副总裁言甯璿博士表示:“嘉兴的新电子级硫酸装置是巴斯夫在中国电子材料市场持续增长与拓展的又一重要举措。中国已成为全球最大电子材料市场之一,而且还在不断成长,我们很高兴能够参与这一增长势头。我们将更贴近客户,为他们提供更迅捷、更高效的化学解决方案、更可靠的供应和更稳定的品质。”


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