半导体

国产28纳米刻蚀机明年实现产业化

作者:陈炳欣来源:中国电子报、电子信息产业网发布时间:2014-09-12 10:09我要评论

中国是全球集成电路最大市场,但是大量产品依赖进口,要将我国集成电路产业做大做强,其中关键一环是将我国的集成电路装备制造业搞上去。北方微电子作为国内首家将集成电路高端装备送入大生产线的本土装备制造企业,经过10余年的努力,已研发出刻蚀机(ETCH)、物理气相沉积(PVD)、化学气相沉积(CVD)三项核心设备,未来仍将致力于推进集成电路设备的国产化进程。

北方微电子28纳米刻蚀机已通过认证

2013年北方微电子成功开发的12英寸28纳米刻蚀机,现已通过中芯国际认证。同时缩短了与国际一流设备的差距。

集成电路应用极其广泛,重要性不言而喻。在手机、笔记本电脑、身份证等与电子相关的终端产品中无不需要用到芯片,而生产制造芯片的整个流程大约有400~500道工序,需要用到的关键设备至少有十几种。没有过硬的、且掌握核心技术的集成电路装备制造业,就谈不上自主可控的集成电路产业。要将我国集成电路产业做大做强,就一定要把我国集成电路装备制造业搞上去。然而,由于历史原因我国集成电路装备产业与国际先进水平存在较大差距。目前,我国大规模集成电路生产线(8~12英寸)的芯片制造设备大量依赖进口,这不仅严重影响了我国集成电路产业的发展,也对我国电子信息的安全造成重大隐患。

集成电路装备制造是一个十分精密复杂、竞争激烈的行业。首先,更新换代速度快。摩尔定律18个月升级一代,决定了设备的更新换代频率。企业如果跟不上这个节奏,结果就是被淘汰。其次,加工精度极高。纳米级的加工精度已达到百万分之一毫米,一台设备物料达到3000多件,软件代码达到100多万行,需要200多家供应商。一台设备的开发就是一个庞大而复杂的系统工程。最后,验证周期长。一台设备开发成功,不仅仅是完成上线验证,更重要的是要通过大生产线严格的长期测试,整个周期至少需要18个月,同时要满足严苛的可靠性、一致性要求。北方微电子成立于2001年,是“十五”计划期间为推进我国集成电路装备制造产业发展而成立的。成立之初即承担了国家“十五”863计划集成电路制造装备重大专项“100纳米高密度等离子刻蚀机”项目。2003年项目正式启动,2006年通过验收,从研发到量产只用了不到4年的时间,投入金额2.6亿元。国外研发同类设备大约需要5~7年,投资约在4亿美元。2013年北方微电子成功开发的12英寸28纳米刻蚀机,现已通过中芯国际认证,中芯国际28纳米生产线的建设为北方微电子的设备提供了一个快速发展的市场机会,同时缩短了与国际一流设备的差距。

目前,北方微电子承接了14纳米的刻蚀机项目,计划于2017年达到量产水平,进一步缩短与国外的差距。

不断拓宽产品应用领域

大力整合系统内与系统外的资源,力争在5年内装备技术达到国际先进的14纳米技术代。

在加快提升集成电路装备制造技术实力的同时,北方微电子还将积极拓展产品的应用领域,目前已将集成电路设备成果应用到半导体照明(LED)、微机电系统(MEMS)、先进封装、光通信器件、化合物半导体等领域。采用氮化镓基发光二极管(LED)作为光源的半导体照明技术,以节能、高效、寿命长等优点被广泛用于照明、大屏幕显示、指示灯、背光源等领域,被认为是目前最具竞争力的绿色固态照明技术。目前北方微电子的刻蚀机与PVD已在国内半导体照明市场占据主导地位,刻蚀机的市场份额超过50%%。

晶圆级封装和3D封装等先进封装技术因其更高性能、更多功能、更小尺寸、更低功耗和更低成本的优势,被看作推动产业向前发展的创新型封装解决方案,在封装协同设计、低成本材料和高可靠性技术方面的进步至关重要。北方微电子成功把刻蚀机和PVD推广应用到先进封装生产线当中,目前国内市场占有率排名第一。

未来,北方微电子将把握国家发布《国家集成电路产业发展推进纲要》的契机,一方面积极争取国家产业基金的支持,同时大力整合系统内与系统外的资源,建设大规模集成电路的工艺验证平台,5年内装备技术达到国际先进的14纳米技术代。在巩固提升国内市场占有率的同时,力争5年内打入国际市场,产业化规模突破20亿元,成为国内最大的集成电路装备企业,建成国家级的集成电路装备产业化示范基地。 (本报记者陈炳欣采访整理)


责任编辑:电子信息产业网
相关链接

首届全球IC企业家大会

12月11日,由工业和信息化部、上海市人民政府指导,中国半导体行业协会、中国电子信息产业发展研究院主办,北京赛迪会展有限公司、中国电子报社、上海市集成电路行业协会承办的“首届全球IC企业家大会暨第十六届中国国际...

2018世界VR产业大会

10月19日,2018世界VR产业大会在南昌盛大开幕。开幕式上,全国政协副主席卢展工宣读国家主席习近平贺信,工业和信息化部部长苗圩,江西省委书记刘奇,江西省委常委、南昌市委书记殷美根分别致辞。

第二届中国虚拟现实创新创业大赛启动...

8月20日,在中国创新创业大赛组委会办公室指导下,由虚拟现实产业联盟、国科创新创业投资有限公司共同举办的第二届中国虚拟现实创新创业大赛启动新闻发布会在北京举行。

2018年上半年家电网购分析报告发布会

8月2日,工业和信息化部赛迪研究院、中国电子报社在北京发布了《2018年上半年家电网购分析报告》(以下简称《家电网购报告》)。报告显示,2018年上半年,我国B2C家电网购市场(含移动终端)规模达2641亿元...

2018制造业“双创”高峰论坛

6月22日,2018制造业“双创”高峰论坛在北京举办。本次论坛由中国电子信息产业发展研究院、中国制造企业双创发展联盟和中国软件行业协会工业互联网分会主办,中国电子报社、北京云道智造科技有限公司和中国船舶工...

2018世界VR产业大会新闻发布会

5月21日,记者从在北京人民大会堂召开的2018世界VR产业大会新闻发布会上获悉,由工业和信息化部、江西省人民政府共同主办,中国电子信息产业发展研究院、江西省工业和信息化委员会、南昌市人民政府、虚拟现实产业...

数字经济前沿论坛-CITE2018第六届中国电...

为贯彻落实党的十九大精神,充分展示新一代信息技术产业最新发展成就,促进产业核心技术突破,加快形成数字经济新动能,引领信息技术产业供给侧改革,工业和信息化部、深圳市人民政府将于2018年4月9日-11日在深圳市共 ...

中国超高清视频(4K)产业发展大会

3月29日,中国超高清视频(4K)产业发展大会在广州市召开。大会由工业和信息化部、国家广播电视总局、广东省人民政府主办,广东省经济和信息化委员会、广东省新闻出版广电局、广东省通信管理局、广州市人民政府、中...

2019CES国际消费电子产品展报道

CES由美国电子消费品制造商协会(简称CEA)主办,CES每年一月在世界著名拉斯维加斯举办,CES是世界上最大、影响最为广泛的消费类电子技术年展,也是全球最大的消费技术产业盛会。...

2019年全国工业和信息化工作会议

今年中央经济工作会议,认真总结了一年来我国经济社会发展取得的成就和经验,深入分析了当前经济形势,全面部署了明年经济工作,提出要推动制造业高质量发展,坚定不移地建设制造强国。中央经济工作会议把推动制造业...

改革开放40年

40年的实践充分证明,党的十一届三中全会以来我们党团结带领全国各族人民开辟的中国特色社会主义道路、理论、制度、文化是完全正确的...

支持民营企业在行动

当前,国际经济复杂多变、新旧动能转换和政策措施落实差距等多种因素叠加,民营企业发展内外交困,“民营经济离场论”、“新公私合营论”等不当言论甚嚣尘上,导致部分民营企业发展缺乏定力和信心。习近平总书记“在...

中关村集成电路设计园开园暨第二届“芯动北京”中关村IC产业论坛

中关村集成电路设计园开园暨第二届“芯动北京”中关村IC产业论坛...

星河亮点副总裁王奥博:5G应用为测试厂商带来新机遇

今年可以认为是5G移动通信的元年、真正商用的元年,因为随着运营商中国移动、中国电信、中国联通扩大5G网络在更多城市的试用,5G各方面的产业成熟度也已经达到了可以...

普天技术副总裁杜涛:开拓物联网市场须在垂直行业二次学习

普天作为通信行业的一个老兵,为2018中国国际信息通信展带来了信息通信与网络安全、物联网、智慧社会等领域的众多自主创新成果。9月26日,在2018中国国际信息通...

第六届中国电子信息博览会开幕式暨数字经济前沿论坛

本次论坛主题是“智领新时代 慧享新生活”,将邀请政府行业主管部门、国内外著名专家学者、企业家发表主题演讲、对话或专题交流,深入探讨深化创新驱动战略、实施“中国制...

友情链接
关于我们 | 联系我们 | 广告服务
电子信息产业网LOGO