半导体

KLA-Tencor推出检测新品 瞄准16nm市场

作者:徐恒来源:电子信息产业网发布时间:2014-07-09 15:27我要评论

近日,在美国西部半导体设备暨材料展 (SEMICON West) 上,KLA-Tencor 公司(纳斯达克股票代码:KLAC)宣布推出四款新的系统—— 2920 系列、Puma™ 9850、Surfscan® SP5 和 eDR™-7110 ——为 16nm 及以下的集成电路研发与生产提供更先进的缺陷检测与检查能力。2920 系列宽波等离子图案晶圆缺陷检测系统、Puma 9850 激光扫描图案晶圆缺陷检测系统和 Surfscan SP5 无图案晶圆缺陷检测系统可提供更高的灵敏度和巨大的产能增益。这些检测仪让芯片制造商能够发现和监测对成品率至关重要的缺陷,从而支持芯片制造商在前沿领先设计节点对复杂结构、新型材料和新的工艺进行整合。这三款检测仪均可与eDR-7110 电子束复查系统实现无缝连结,该系统利用更先进的自动缺陷分类功能迅速识别捕获的缺陷,为晶片制造厂商纠正措施提供精准资讯。

KLA-Tencor 晶圆检测集团执行副总裁 Bobby Bell 表示:“当我们的客户在 16nm、14nm 和更小设计节点整合众多独特技术时,他们面临着复杂的成品率与可靠性挑战。今天宣布推出的四款系统是我们检测与检查系列中的旗舰产品,融入了多种创新,有助于解决各种应用方面的缺陷率问题。我们的光学检测仪和电子束复查系统能够发现和识别关键纳米级缺陷,同时还能评估这些缺陷在同一晶圆、晶圆与晶圆之间和批次与批次之间的变化,从而实现更高产能。我们相信,通过提供全面缺陷信息,此系列产品能够帮助我们的客户表征和优化他们的先进工艺,以加快上市时间。”

采用第三代宽波等离子光源,2920 系列图案晶圆缺陷检测仪提供的亮度是其前身的两倍,令使用新型深紫外线 (DUV) 波段以及业界最小的光学检测像素成为可能。运用新的高级算法,这些新的光学模式将灵敏度提高到诸如 FinFET 等复杂集成电路设备结构上的细微凸出、微小桥接及其他图案缺陷。此外,2920 系列的新型 Accu-ray™ 与 Flex Aperture技术能够迅速判断捕捉关键缺陷类型的最佳光学设置,显著缩短发现并解决工艺与设计问题的所需时间。

Puma 9850 激光扫描图案晶圆检测系统采用多个平台增强,能够提供适应各种产能的更高灵敏度,以支持各种各样的 FinFET 和先进的存储器设备检测应用。作为 2920 系列检测仪的补充,Puma 9850 的更高灵敏度操作模式更便于在显影后检测 (ADI)、光刻系统监控(PCM) 和前端工序线工艺蚀刻层捕捉与成品率相关的缺陷。它拥有更高速度模式,能够以 Puma 9650 的两倍产能运行,并允许在薄膜与化学机械抛光 (CMP) 工艺模块中极具成本效益地监控制程偏移。

Surfscan SP5 无图案晶圆检测仪采用增强型 DUV 光学技术,能够以量产产能提供 20nm 以下的缺陷灵敏度,使检测细微基板或覆膜缺陷成为可能,以免这些缺陷干扰叠层集成电路的成功整合。与上一代的 Surfscan SP3 相比,Surfscan SP5 的处理速度快了三倍,不仅拥有高产能,而且还能检验和监控与多图案相关的更多工序及其他前沿领先的加工技术。

eDR-7110 电子束复查系统采用了一种新型SEM 自动缺陷分类(S-ADC) 引擎,能够在生产期间精准地对缺陷进行分类,让工艺研发期间发现缺陷所需的时间显著缩短。此外,S-ADC 的结果还能在晶圆仍然位于eDR-7110上时自动触发额外的测试,例如元素成份分析或使用其他影像模式进行缺陷复查。这是eDR-7110特有的功能,它可以提高缺陷资讯的质量, 有益于工程师改善工艺的判断。


责任编辑:徐恒
相关链接

首届全球IC企业家大会

12月11日,由工业和信息化部、上海市人民政府指导,中国半导体行业协会、中国电子信息产业发展研究院主办,北京赛迪会展有限公司、中国电子报社、上海市集成电路行业协会承办的“首届全球IC企业家大会暨第十六届中国国际...

2018世界VR产业大会

10月19日,2018世界VR产业大会在南昌盛大开幕。开幕式上,全国政协副主席卢展工宣读国家主席习近平贺信,工业和信息化部部长苗圩,江西省委书记刘奇,江西省委常委、南昌市委书记殷美根分别致辞。

第二届中国虚拟现实创新创业大赛启动...

8月20日,在中国创新创业大赛组委会办公室指导下,由虚拟现实产业联盟、国科创新创业投资有限公司共同举办的第二届中国虚拟现实创新创业大赛启动新闻发布会在北京举行。

2018年上半年家电网购分析报告发布会

8月2日,工业和信息化部赛迪研究院、中国电子报社在北京发布了《2018年上半年家电网购分析报告》(以下简称《家电网购报告》)。报告显示,2018年上半年,我国B2C家电网购市场(含移动终端)规模达2641亿元...

2018制造业“双创”高峰论坛

6月22日,2018制造业“双创”高峰论坛在北京举办。本次论坛由中国电子信息产业发展研究院、中国制造企业双创发展联盟和中国软件行业协会工业互联网分会主办,中国电子报社、北京云道智造科技有限公司和中国船舶工...

2018世界VR产业大会新闻发布会

5月21日,记者从在北京人民大会堂召开的2018世界VR产业大会新闻发布会上获悉,由工业和信息化部、江西省人民政府共同主办,中国电子信息产业发展研究院、江西省工业和信息化委员会、南昌市人民政府、虚拟现实产业...

数字经济前沿论坛-CITE2018第六届中国电...

为贯彻落实党的十九大精神,充分展示新一代信息技术产业最新发展成就,促进产业核心技术突破,加快形成数字经济新动能,引领信息技术产业供给侧改革,工业和信息化部、深圳市人民政府将于2018年4月9日-11日在深圳市共 ...

中国超高清视频(4K)产业发展大会

3月29日,中国超高清视频(4K)产业发展大会在广州市召开。大会由工业和信息化部、国家广播电视总局、广东省人民政府主办,广东省经济和信息化委员会、广东省新闻出版广电局、广东省通信管理局、广州市人民政府、中...

2019CES国际消费电子产品展报道

CES由美国电子消费品制造商协会(简称CEA)主办,CES每年一月在世界著名拉斯维加斯举办,CES是世界上最大、影响最为广泛的消费类电子技术年展,也是全球最大的消费技术产业盛会。...

2019年全国工业和信息化工作会议

今年中央经济工作会议,认真总结了一年来我国经济社会发展取得的成就和经验,深入分析了当前经济形势,全面部署了明年经济工作,提出要推动制造业高质量发展,坚定不移地建设制造强国。中央经济工作会议把推动制造业...

改革开放40年

40年的实践充分证明,党的十一届三中全会以来我们党团结带领全国各族人民开辟的中国特色社会主义道路、理论、制度、文化是完全正确的...

支持民营企业在行动

当前,国际经济复杂多变、新旧动能转换和政策措施落实差距等多种因素叠加,民营企业发展内外交困,“民营经济离场论”、“新公私合营论”等不当言论甚嚣尘上,导致部分民营企业发展缺乏定力和信心。习近平总书记“在...

中关村集成电路设计园开园暨第二届“芯动北京”中关村IC产业论坛

中关村集成电路设计园开园暨第二届“芯动北京”中关村IC产业论坛...

星河亮点副总裁王奥博:5G应用为测试厂商带来新机遇

今年可以认为是5G移动通信的元年、真正商用的元年,因为随着运营商中国移动、中国电信、中国联通扩大5G网络在更多城市的试用,5G各方面的产业成熟度也已经达到了可以...

普天技术副总裁杜涛:开拓物联网市场须在垂直行业二次学习

普天作为通信行业的一个老兵,为2018中国国际信息通信展带来了信息通信与网络安全、物联网、智慧社会等领域的众多自主创新成果。9月26日,在2018中国国际信息通...

第六届中国电子信息博览会开幕式暨数字经济前沿论坛

本次论坛主题是“智领新时代 慧享新生活”,将邀请政府行业主管部门、国内外著名专家学者、企业家发表主题演讲、对话或专题交流,深入探讨深化创新驱动战略、实施“中国制...

友情链接
关于我们 | 联系我们 | 广告服务
电子信息产业网LOGO