半导体

北方微电子总裁赵晋荣:工艺研发指导设备研制

作者:电子信息产业网来源:中国电子信息产业网发布时间:2011-04-12 09:07我要评论



 
北方微电子公司分别于2008年开始承担02专项“12英寸65nm硅刻蚀机研发及产业化项目”和2009年开始承担“12英寸65nm~45nm铜PVD设备研发项目”。其中65nm硅刻蚀机已经完成中芯国际生产线的全部工艺考核和认证,各项技术参数均达到国际主流设备水平;65nm~45nm铜PVD设备也依照项目计划节点进行工艺测试。65nm刻蚀机的研发成功标志着我国集成电路核心高端装备制造再次取得了重大突破,进入国际先进行列。

承担02专项提升企业竞争力

通过承担国家02专项,北方微电子的核心研发能力、产业化能力和产业协调能力均得到较大的促进和提升,尤其是非常注重科研成果的产业化,而且在技术扩展和应用方面已经取得了骄人的成绩。拥有完全自主知识产权并成功应用于LED领域的图形化衬底ICP刻蚀机和GaN刻蚀机已经批量销往国内多家主流LED芯片工厂,其各项技术性能均达到或超过国际先进水平,已经成为LED芯片主流生产线的标配设备;自主开发的应用于光伏领域的晶硅太阳能平板PECVD设备填补了国内此领域的空白,正在大生产线上进行最后的批量流片测试;通过国际合作研制的全自动大产能MOCVD设备也进入最后的组装阶段。
在研发成果产业化过程中,我们面临的最大挑战和困难是产品进入市场时不容易被大生产线客户认可。集成电路制造产业投资巨大,工艺技术门槛高,芯片企业往往对新进入该领域的国产设备信心不足,评价和使用国产高端新设备既要花时间,又承担着极大的技术风险。国际主流集成电路设备之所以价格昂贵,设备公司出售的不仅是设备,还有工艺技术、售后服务以及技术升级。以大规模生产为目标的芯片工厂很难向没有这种综合能力和业绩的设备公司购买产品。
北方微电子为取得主流芯片工厂的认可,除了采用通过自付生产测试费用进入大生产线进行工艺验证以建立客户信心之外,还聘请海外业界一流专家团队主导产品及工艺开发,以及实施产品国际安全认证,全面建立信息化市场化管理体系,实现了对设备制造及客户服务各环节的快速反应及协调能力,尤其是先进工艺开发、技术培训以及售后服务方面远超国外水平,得到了客户的较高评价。

与大生产线紧密结合

在产品研发工作中,我们最值得分享的经验是采用了“以满足大生产线工艺需求为牵引,以满足大生产线使用为目标,以实现产品的批量销售为宗旨”的研发模式。
集成电路装备最大的特点就是对工艺指标有严格的要求,这里的工艺指标不单指某一个技术指标,而是指综合的工艺指标体系。就刻蚀机而言,设备在进入市场时,不仅要满足客户对于整机性能指标的考核,更要侧重对设备应用能力、工艺窗口大小和稳定性的考核。如果仅依据企业内部经验和资源进行工艺实验和结果评测,设备很难适应集成电路产业产品类型快速发展所带来的工艺需求日趋多样化的要求。北方微电子在设备研发初始就创新性地提出了“工艺研发指导设备研制,与大生产线紧密结合”这一科学的技术攻关路线,强调以生产线真正的工艺需求为牵引,直接开发出能满足芯片生产线使用的工艺技术,并在实现工艺能力的过程中不断完善设备软硬件设计,从而快速、准确地满足客户要求,开拓集成电路高端设备的应用市场。
在02专项的实施中,我们非常重视产学研用的结合,坚持以企业为主体,以产业化为目标,积极推动与多家大学和研究所的资源整合。公司以项目作为平台,通过资金这一纽带,吸引用户单位共同参与产品工艺考核与应用,加快科研成果转化,并建立多种形式、层次和领域广泛而紧密的产学研用关系,形成利益共享、风险共担的产学研用合作新机制。


  (责任编辑:落雪)


 


责任编辑:电子信息产业网
相关链接

首届全球IC企业家大会

12月11日,由工业和信息化部、上海市人民政府指导,中国半导体行业协会、中国电子信息产业发展研究院主办,北京赛迪会展有限公司、中国电子报社、上海市集成电路行业协会承办的“首届全球IC企业家大会暨第十六届中国国际...

2018世界VR产业大会

10月19日,2018世界VR产业大会在南昌盛大开幕。开幕式上,全国政协副主席卢展工宣读国家主席习近平贺信,工业和信息化部部长苗圩,江西省委书记刘奇,江西省委常委、南昌市委书记殷美根分别致辞。

第二届中国虚拟现实创新创业大赛启动...

8月20日,在中国创新创业大赛组委会办公室指导下,由虚拟现实产业联盟、国科创新创业投资有限公司共同举办的第二届中国虚拟现实创新创业大赛启动新闻发布会在北京举行。

2018年上半年家电网购分析报告发布会

8月2日,工业和信息化部赛迪研究院、中国电子报社在北京发布了《2018年上半年家电网购分析报告》(以下简称《家电网购报告》)。报告显示,2018年上半年,我国B2C家电网购市场(含移动终端)规模达2641亿元...

2018制造业“双创”高峰论坛

6月22日,2018制造业“双创”高峰论坛在北京举办。本次论坛由中国电子信息产业发展研究院、中国制造企业双创发展联盟和中国软件行业协会工业互联网分会主办,中国电子报社、北京云道智造科技有限公司和中国船舶工...

2018世界VR产业大会新闻发布会

5月21日,记者从在北京人民大会堂召开的2018世界VR产业大会新闻发布会上获悉,由工业和信息化部、江西省人民政府共同主办,中国电子信息产业发展研究院、江西省工业和信息化委员会、南昌市人民政府、虚拟现实产业...

数字经济前沿论坛-CITE2018第六届中国电...

为贯彻落实党的十九大精神,充分展示新一代信息技术产业最新发展成就,促进产业核心技术突破,加快形成数字经济新动能,引领信息技术产业供给侧改革,工业和信息化部、深圳市人民政府将于2018年4月9日-11日在深圳市共 ...

中国超高清视频(4K)产业发展大会

3月29日,中国超高清视频(4K)产业发展大会在广州市召开。大会由工业和信息化部、国家广播电视总局、广东省人民政府主办,广东省经济和信息化委员会、广东省新闻出版广电局、广东省通信管理局、广州市人民政府、中...

2019CES国际消费电子产品展报道

CES由美国电子消费品制造商协会(简称CEA)主办,CES每年一月在世界著名拉斯维加斯举办,CES是世界上最大、影响最为广泛的消费类电子技术年展,也是全球最大的消费技术产业盛会。...

2019年全国工业和信息化工作会议

今年中央经济工作会议,认真总结了一年来我国经济社会发展取得的成就和经验,深入分析了当前经济形势,全面部署了明年经济工作,提出要推动制造业高质量发展,坚定不移地建设制造强国。中央经济工作会议把推动制造业...

改革开放40年

40年的实践充分证明,党的十一届三中全会以来我们党团结带领全国各族人民开辟的中国特色社会主义道路、理论、制度、文化是完全正确的...

支持民营企业在行动

当前,国际经济复杂多变、新旧动能转换和政策措施落实差距等多种因素叠加,民营企业发展内外交困,“民营经济离场论”、“新公私合营论”等不当言论甚嚣尘上,导致部分民营企业发展缺乏定力和信心。习近平总书记“在...

中关村集成电路设计园开园暨第二届“芯动北京”中关村IC产业论坛

中关村集成电路设计园开园暨第二届“芯动北京”中关村IC产业论坛...

星河亮点副总裁王奥博:5G应用为测试厂商带来新机遇

今年可以认为是5G移动通信的元年、真正商用的元年,因为随着运营商中国移动、中国电信、中国联通扩大5G网络在更多城市的试用,5G各方面的产业成熟度也已经达到了可以...

普天技术副总裁杜涛:开拓物联网市场须在垂直行业二次学习

普天作为通信行业的一个老兵,为2018中国国际信息通信展带来了信息通信与网络安全、物联网、智慧社会等领域的众多自主创新成果。9月26日,在2018中国国际信息通...

第六届中国电子信息博览会开幕式暨数字经济前沿论坛

本次论坛主题是“智领新时代 慧享新生活”,将邀请政府行业主管部门、国内外著名专家学者、企业家发表主题演讲、对话或专题交流,深入探讨深化创新驱动战略、实施“中国制...

友情链接
关于我们 | 联系我们 | 广告服务
电子信息产业网LOGO