半导体

在每一个技术节点上实现量产

作者:电子信息产业网来源:中国电子信息产业网发布时间:2011-04-12 09:15我要评论




 
工艺技术能力全面提升

中芯国际自2009年开始承担国家重大科技02专项中65纳米、45纳米、32纳米全套工艺技术开发,并配合01、02和03专项进行高档芯片代工、国产设备和材料的检测和试用工作,目前已取得了重大进展。65纳米产品工艺的各项技术指标均达到国际主流技术水平,并在中芯国际北京公司进行批量生产,月产能达到6000片12英寸晶圆。45纳米已经完成了完整的工艺流程研发并通过了国际主流客户的验证。32纳米产品工艺已经开始了实质性的研发工作,少量芯片已经在工艺上实现。
中芯国际同时承担02专项中国产设备和材料项目的产业化验证工作。已经开展了包括多晶硅刻蚀机、介质刻蚀机等多种设备和材料的验证,其中12英寸介质和多晶硅刻蚀机、立式扩散炉等已经取得初步成果,部分设备和材料已应用于大生产。

企业为创新主体

中芯国际在承担国家重大专项过程中,最大的体会就是正确地理解并执行“以企业为创新主体”这一基本精神。以企业为主体使得02专项开发成果能迅速产业化,同时研发资源得到最大限度发挥。
在承担02专项促进产业化的工作中,我们有以下几点体会:一是要沿着摩尔定律的轨迹发展。中芯国际正沿着摩尔定律的轨迹发展,已实现65纳米技术/产品的量产,今年下半年将实现45纳米全套工艺的成功开发,32纳米技术也将于2013年之前完成开发任务。二是在每一个技术节点上实现量产。65纳米在目前6000片产能的基础上还会继续扩充,45纳米工艺目前已进入客户产品验证阶段,32纳米工艺已开始了实质性的研发工作,其量产也在公司的规划当中。三是在开拓国内市场上下工夫。为了满足国内设计公司的需求,中芯国际在加速工艺技术开发的同时,也在与国内的研究院所合作,开发相应的IP,同时也在积极与国外的IP供应商合作引进必要的IP。为此,中芯国际正在大幅提高IP方面的投入,同时加强IP队伍的建设。

积累产学研用合作经验

在承担02专项的过程中,我们对于产、学、研、用的合作积累了非常有价值的经验。中芯国际联合北京大学、清华大学、中科院微电子研究所等单位,建立了“中芯国际集成电路产学研联合实验室”,通过产学研结合的方式突出企业在科技创新中的主体地位。以65纳米技术的研发为例,中芯国际作为项目的主承担单位,进行研发和产业化,根据项目的总体目标和课题分解,中科院微电子所、北京大学在模型的建立、可制造性设计、光学修正和良率提升等方面承担了相应的研发课题。科技部、北京市以及专项办领导给予了大力支持,02专项专家组做了大量组织协调工作。
在“十二五”期间,02专项有产业化要求的项目,应继续坚持和发扬“以企业为创新主体”产学研结合的指导思想。企业要与高校研究所建立紧密的合作机制,在设立项目的时候以行业的发展战略和企业的发展需求作为目标。而高校研究所的项目在设立和实施的时候,应围绕项目的目标,与企业紧密合作。要鼓励研发人员在企业和高校之间互相流动,通过互动,既完成重大专项目标,又培养了人才。


  (责任编辑:落雪)


 


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