半导体

晶龙集团单晶炉生长设备实现全自控

作者:段同刚 王丽英来源:中国电子信息产业网发布时间:2010-03-27 14:15我要评论

近日,从晶龙集团传来捷报:该公司生产的单晶炉生长设备实现了从半自动到全自动的转变,使我集团成为国内完全掌握全自动单晶炉生产制造技术唯数不多的企业,跨入了世界单晶炉制造的先进行列。


单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中必备设备,而单晶硅又是光伏发电和半导体行业中的基础原料,因此单晶硅的性能提高必然会是这两个行业的迅速发展。目前国内市场上的单晶炉以半自动控制为主,而且无法应用于半导体IC产业,为此,该公司根据市场的需求,通过对半自动设备50余个环节的调整和改造,成功实现了全自动设备。“面世的全自动设备,从融料、引颈、扩肩、转肩、等径到收尾等全部实现了自动化。”提到现在的全自动晶体生产设备时,晶龙阳光设备公司总经理边志坚如是说。在其最新获得的专利证书中,开发的新型晶体生产炉中的新式导流筒,既加大了投料量,又大大提高了成品率和工作效率。新型旋转隔离阀以水平旋开式替代翻开式,降低了单晶炉炉体高度,提高了设备上下部分的对中度和水平度,使整机运行更加稳定,更适用于拉制大直径硅棒。带定值气压释放安全阀的晶体生长炉,通过在炉体设置安全阀,保障了设备安全、可靠运行。低电压大电流可调直控电源结构简单,具有功率因数高、谐波小、热耗小的特点,适用于在单晶生长、电镀、电解等行业作加热电源。其所用单晶生长设备每台每炉可实现节电180千瓦时,年可节约4.8万元。目前,已销往北京、安徽、浙江、宁夏等地,受到客户的一致好评。与此同时,自主研发的CZ-80A晶体生长设备,在国内率先采用PLC可编程逻辑控制器(工业自动化系统),进一步提升了设备稳定性、可靠性和自动化程度。该种设备被认定为省科技新成果,还列入了国家信息产业关键技术产业化专项项目并通过了验收。


另外,晶龙集团还下大力度瞄准业界前沿技术,根据晶体生产设备投料量的多少,开发了4个系列的晶体设备,同时还围绕光伏行业开发了水爆机、自动脱胶机、自动硅料清洗机和自动装片机等新产品。


责任编辑:电子信息产业网
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