半导体

主题演讲:多晶硅铸锭技术的发展现状

作者:电子网来源:电子网发布时间:2009-04-28 16:46我要评论


  赵波:各位领导、各位来宾大家下午好!非常感谢主办方给我这个机会,让我在这里做一个报告。我这个报告主要是关于多晶硅铸锭炉设备的发展做一些简要的介绍。首先我花几分钟时间把精工集团的情况给大家做一个简要的汇报。
  中国精工集团它是一家跨地区、跨产业、高科技企业,是一家民营企业,多年位居中国民营企业500强,下辖三家控股或参股的上市公司,经过三十多年的发展资产已经超过100亿,员工1万人。主要有六大核心产业,包括三家上市公司。大家看到的就是精工集团旗下的六大产业平台,大家熟悉的比如说鸟巢新航站楼等目前国内的很多标志性的工程都是由精工集团承建或参与建设的。涉及到太阳能光伏领域的主要是精工旗下的一家控股公司叫精工科技股份有限公司,从事光伏设备如铸锭的制造等。精工科技的总部在浙江绍兴,它在浙江的绍兴、杭州和武汉有三大生产基地。这是一开始我大概的把我们企业介绍一下。
  多晶硅铸锭炉的技术发展完全是跟着光伏的行业发展起来的。太阳能光伏最早都是用单晶硅,随着整个行业的发展未来降低成本提高生产效率,在国外从上世纪七八十年代开始逐步发展多晶铸造的工艺,它也是这个行业技术发展的结果,从最初的40公斤发展到80公斤、150公斤,实际上真正进行大规模产业运用的是发展到240公斤以后,在国外来说240公斤是在2003、2004年开始的。到2007年下半年以后开始出现了400公斤级的铸造技术,目前来说在太阳能光伏领域,多晶铸锭技术已经发展成为一种主流的技术。
  国内的多晶铸造技术在这个领域开始迅速的跟上国际水平,目前国内有多家厂商参与了多晶铸造设备的研发,精工科技公司实际上是从06年开始研发出第一代的240公斤级的铸造设备,到2008年的时候已经开发出了第二代500公斤级的多晶铸造设备,整个产品的技术性能已经达到了国外的技术水平。实际上已经超过了国外的技术水平。
  这是精工科技第一代炉240的设计,我这里简单介绍一下240这个型号,它是真正的在太阳能光伏引进了大量的应用,在国外还有一个SM热交换法,通过坩埚的移动来进行生产,他整个的工作的基本原理是基本相似的,但是因为整体的设计思想不同,所以造成工作状态是有差异的。我后面大概介绍一下他们两个的差别。
  大家可以看到,这是JJL.240的热场设计方法,而热交换法的设计他是通过坩埚的下降来进行生产。但是由于里面热场的状态不一样,造成生成的晶体是有差别的。大家可以看到硅里面的等温线的详细分布图。真正的最初成核是从底部的边角开始的,这两种方式的缺点和好处来看,240公斤级的设备里,一种温差相对小一些,但是它有它的缺陷,相对于另外一种方法它的边角的地面尤其是下面的地面过冷。大家可以看到用HM这种设备的炉子和用这种设备的炉子造成的晶体的方向是有差别的。HEM方式底部的晶体走向是从中间向旁边走的,而这种的晶体走向是从边角到中间走的,这是因为热场的控制方向不同造成的。
  大家可以看到这两种方式他们的硅片的状态,JJL的缺陷相对小一些。
  基于我们在行业里多年的经验,我们认为在240公斤级的技术上存在一些缺点,我们对他的理解就是我们又设计了500公斤级的设备。这个设备刚才我介绍了240公斤级的两种设计思想之后,我们500公斤级设计成这样的。大家可以看到500公斤级里我们设计的热场形态,旁边是底部成核的状态,是基本长成的状态。大家可以看到在成核状态下,采用的是我们申请专利的底板移动的方式,这样可以很好的控制底部成核,整个曲率控制的不大,控制的很小。从底部到上边的等边线基本上是平衡状态。这样的设计可以让速度更加均匀,能够很好的控制微晶状态的产生。
  再给大家看一张图,国外的一家公司400公斤级产品的热场分布状态,它的这个方式在底部重合的时候还是没有能够很好的控制边角过冷的问题,这样会造成地区地址微晶的产生,会造成在底部中央部分的杂质浓度偏高,这是完全由于设计原因所产生的。
  大家可以看到这个是在底部成核的时候,JJL500详细的等温分布状态,大家可以看一下等温线的分布是很平稳的。这样设计的好处首先是有利于硅锭分布,因为硅锭长得更高的话,作为用户来说整个的产品效益会有显著的提高。这张图是JJL500里的精度,大家可以看到这个精度明显要比前面的设备高得很多。这个精度已经可以达到250毫米以上的高度,目前来说像国外400公斤级的高度大概也就是260毫米的高度。
  这是一些JJL500型设备的优点,整个的生产效益是很好的,高度也很高,可以达到300毫米以上,整个的效率也会大大提高。
  我们不好和别人比,只能跟自己比。这一代机器的推出的话,整个的生产效益应该比上一代的设备生产效益提高两倍以上。谢谢大家!
  主持人:谢谢赵总给我们的解释,下面有请世源科技工程有限公司总工艺师李强发表主题演讲,有请李总。


责任编辑:电子信息产业网
相关链接

首届全球IC企业家大会

12月11日,由工业和信息化部、上海市人民政府指导,中国半导体行业协会、中国电子信息产业发展研究院主办,北京赛迪会展有限公司、中国电子报社、上海市集成电路行业协会承办的“首届全球IC企业家大会暨第十六届中国国际...

2018世界VR产业大会

10月19日,2018世界VR产业大会在南昌盛大开幕。开幕式上,全国政协副主席卢展工宣读国家主席习近平贺信,工业和信息化部部长苗圩,江西省委书记刘奇,江西省委常委、南昌市委书记殷美根分别致辞。

第二届中国虚拟现实创新创业大赛启动...

8月20日,在中国创新创业大赛组委会办公室指导下,由虚拟现实产业联盟、国科创新创业投资有限公司共同举办的第二届中国虚拟现实创新创业大赛启动新闻发布会在北京举行。

2018年上半年家电网购分析报告发布会

8月2日,工业和信息化部赛迪研究院、中国电子报社在北京发布了《2018年上半年家电网购分析报告》(以下简称《家电网购报告》)。报告显示,2018年上半年,我国B2C家电网购市场(含移动终端)规模达2641亿元...

2018制造业“双创”高峰论坛

6月22日,2018制造业“双创”高峰论坛在北京举办。本次论坛由中国电子信息产业发展研究院、中国制造企业双创发展联盟和中国软件行业协会工业互联网分会主办,中国电子报社、北京云道智造科技有限公司和中国船舶工...

2018世界VR产业大会新闻发布会

5月21日,记者从在北京人民大会堂召开的2018世界VR产业大会新闻发布会上获悉,由工业和信息化部、江西省人民政府共同主办,中国电子信息产业发展研究院、江西省工业和信息化委员会、南昌市人民政府、虚拟现实产业...

数字经济前沿论坛-CITE2018第六届中国电...

为贯彻落实党的十九大精神,充分展示新一代信息技术产业最新发展成就,促进产业核心技术突破,加快形成数字经济新动能,引领信息技术产业供给侧改革,工业和信息化部、深圳市人民政府将于2018年4月9日-11日在深圳市共 ...

中国超高清视频(4K)产业发展大会

3月29日,中国超高清视频(4K)产业发展大会在广州市召开。大会由工业和信息化部、国家广播电视总局、广东省人民政府主办,广东省经济和信息化委员会、广东省新闻出版广电局、广东省通信管理局、广州市人民政府、中...

2019CES国际消费电子产品展报道

CES由美国电子消费品制造商协会(简称CEA)主办,CES每年一月在世界著名拉斯维加斯举办,CES是世界上最大、影响最为广泛的消费类电子技术年展,也是全球最大的消费技术产业盛会。...

2019年全国工业和信息化工作会议

今年中央经济工作会议,认真总结了一年来我国经济社会发展取得的成就和经验,深入分析了当前经济形势,全面部署了明年经济工作,提出要推动制造业高质量发展,坚定不移地建设制造强国。中央经济工作会议把推动制造业...

改革开放40年

40年的实践充分证明,党的十一届三中全会以来我们党团结带领全国各族人民开辟的中国特色社会主义道路、理论、制度、文化是完全正确的...

支持民营企业在行动

当前,国际经济复杂多变、新旧动能转换和政策措施落实差距等多种因素叠加,民营企业发展内外交困,“民营经济离场论”、“新公私合营论”等不当言论甚嚣尘上,导致部分民营企业发展缺乏定力和信心。习近平总书记“在...

中关村集成电路设计园开园暨第二届“芯动北京”中关村IC产业论坛

中关村集成电路设计园开园暨第二届“芯动北京”中关村IC产业论坛...

星河亮点副总裁王奥博:5G应用为测试厂商带来新机遇

今年可以认为是5G移动通信的元年、真正商用的元年,因为随着运营商中国移动、中国电信、中国联通扩大5G网络在更多城市的试用,5G各方面的产业成熟度也已经达到了可以...

普天技术副总裁杜涛:开拓物联网市场须在垂直行业二次学习

普天作为通信行业的一个老兵,为2018中国国际信息通信展带来了信息通信与网络安全、物联网、智慧社会等领域的众多自主创新成果。9月26日,在2018中国国际信息通...

第六届中国电子信息博览会开幕式暨数字经济前沿论坛

本次论坛主题是“智领新时代 慧享新生活”,将邀请政府行业主管部门、国内外著名专家学者、企业家发表主题演讲、对话或专题交流,深入探讨深化创新驱动战略、实施“中国制...

友情链接
关于我们 | 联系我们 | 广告服务
电子信息产业网LOGO