半导体

做国内单晶炉制造商领先者

作者:诸玲珍来源:中国电子报发布时间:2008-10-07 10:47我要评论




 


在太阳能光伏产业不断升温的大环境下,半导体设备厂商也迎来了新的发展机遇。作为国内单晶炉领先厂商的西安理工晶体科技有限公司是如何坚守阵地,不断创新,勇于开拓国外市场的呢?在西安理工大学工厂成立50周年庆典暨西安理工晶体科技有限公司成立揭牌仪式后,《中国电子报》记者采访了该公司总经理王俊辉。


 


光伏产业为设备厂商带来机会


 


记者:太阳能光伏产业发展很快,您如何看待这个市场?它为设备企业带来哪些机会?


王俊辉:太阳能光伏(PV)产业迅速崛起与走热还能持续相当长的时间,这是因为PV产业属于国家鼓励发展的新能源与可再生能源产业,符合国家产业导向;各国政府,特别是美国政府有新的扶植PV产业政策出台;发达国家纷纷制定中长期发展PV计划;化石能源价格持续上扬,全球变暖引起异常气候现象,环保理念加强。根据美国应用材料公司提供的PV产业预测及PV各种技术预测的相对市场占有率来看,尽管多晶硅太阳能电池技术相对市场占有率有下降趋势,但总体太阳能电池年增长率在以40%%—50%%的速度发展,未来市场相当可观。


有专家预言,太阳能将和通信和计算机一起成为21世纪发展最快的产业。在这种态势下,作为太阳能产业链上游的硅材料和设备受到日益关注。而晶体材料的质量在很大程度上取决于制备时的工艺技术和装备,没有先进的工艺技术和满足晶体生长要求、性能稳定可靠的装备,肯定不能提供性能一致稳定、品质优良的晶体材料。在大规模集成电路和太阳能光伏的发展中,单晶炉是硅材料制备的关键设备,在产业链中具有举足轻重的地位。而理工晶科恰恰在单晶炉的制备方面拥有国内领先的技术和产品。


 


记者:光伏产业链上下游企业如何合作,才能让整个产业健康有序?设备企业在其中充当什么角色?


王俊辉:太阳能光伏产业链上下游企业应不断提高自身创新研发能力;积极引进高端技术人才;国家应加强行业管理,积极培育具有国际竞争力的企业。


在太阳能光伏行业中,所有企业都应在降低成本,提升单晶硅纯度上做文章,因为这是目前整个行业面临的两个关键难点。要解决这两个难题,设备企业要做到如下几点:顺应太阳能电池片发展需要,推出经济实用型设备;研发的设备满足硅晶片质量要求,特别是要提高电池转换效率,降低硅片的杂质与缺陷。如果就单晶炉而言,应在MCZ(磁场直拉法)及CCZ(多次加料)方向下工夫。


 


改变运行模式步入发展新时期


 


记者:从一个校办工厂发展成为行业的龙头企业,西安理工晶科经历了怎样的发展历程?有哪些经验可以和业内企业分享?


王俊辉:谈到这点,还要谈谈理工晶科的历史。西安理工晶科前身是北京机械学院实习工厂,后改变为生产工厂,之后迁到西安,变成西安理工大学工厂,并于2007年12月27日改制,更名为西安理工晶体科技有限公司(简称理工晶科),由西安理工大资产管理公司控股,黄河上游水电开发有限责任公司(简称黄河公司)为第二大股东,注册资金1亿元,至此,公司进入了新的发展篇章。公司改变了原有校办工厂的运行模式,完全按照现代企业机制运行,企业综合实力大幅提升。


理工晶科自1961年研制成功我国第一台单晶炉以来,已定型生产12大系列、近百种型号电子专用设备,涉及半导体、光学及激光、化合物、氧化物、氟化物等晶体材料以及多晶硅、合金材料、人工宝石等高科技领域。产品在国内市场占有率达70%%以上,累计生产各类晶体生长设备3600余台,企业承担过国家多项“863”科技攻关计划。


从北京机械学院工厂、陕西机械学院工厂、西安理工大学工厂到西安理工晶科,50年来,公司积累和掌握多项具有自主知识产权的单晶炉制造技术,已授权专利15项,组建陕西省“13115工程陕西省晶体生长设备工程技术研究中心”。


 


记者:理工晶科在高科技产品领域占据一席之地凭借什么?在技术创新及结构调整上有什么突破?


王俊辉:理工晶科开展单晶炉及晶体生长设备研制已有40多年的历史,打造了一支力量雄厚的技术队伍和经验丰富、手艺高超的工人队伍。从1963年第一台TDK-36型单晶炉的研制成功,实现国内单晶炉生产零的突破,到1997年TDR-80型、2007年TDR-100型和TDR-150型、2008年TDR-90型单晶炉的问世,理工晶科用40年的时间奠定了国内单晶炉市场的领导地位。TDR-80型单晶炉是公司产量最大的炉型。TDR-100型单晶炉,既能满足集成电路晶体生长需求,又可适应太阳能大直径晶体的需要,是公司今后5年-10年的骨干炉型。TDR-150型单晶炉是公司与北京有色金属研究总院共同完成的“863”科技攻关产品,并已批量生产,这一技术创新成果标志着拥有自主知识产权和核心技术的大尺寸集成电路与太阳能用硅单晶生长设备在我国研制成功,填补了国内12英寸无位错单晶生长设备的空白。TDR-90型单晶炉能满足太阳能156×156方圆硅片的需要,加热系统20英寸-22英寸,投料量90公斤-120公斤,晶体直径6英寸-8英寸,是功能齐备、价格适中的炉型,该炉在今后3年将是太阳能单晶硅设备更新换代发展最快、需求最大的主力炉型。


理工晶科的发展与国内大厂和研究所的密切合作息息相关,当今晶体生长设备与生产工艺的结合日趋紧密,晶体生长工艺技术决定了设备的发展和结构。理工晶科历来重视晶体生长工艺在设备研制中的重要地位,新炉型的研制过程得到了中科院半导体所、北京有色金属研究总院、洛阳单晶硅厂、峨眉半导体材料厂等单位的帮助。


成立50年来,理工晶科始终把技术创新放在第一位,从T40的光环法等径控制、T50的软轴提拉结构、T60的减压拉晶工艺、T62的晶体等径控制,一直到T120的多项功能技术,在国内均是首创。


 


记者:目前国内很多不同行业的企业都在关注太阳能光伏产业,有的已经介入进来,而作为这个领域技术领先的设备公司,理工晶科会不会向产业链的上下游延伸?未来,理工晶科如何进一步提升公司的竞争力?


王俊辉:目前,我们建立了自己的单晶生产基地,目的是进行相应的工艺研究,不断改进我们的设备制造技术以适应新的生产工艺,同时给我们的客户进行设备使用培训,更好地服务客户。今后是否会进行大规模单晶生产视行业及公司的发展而定。


目前,理工晶科除了在单晶炉领域继续耕耘外,在太阳能光伏上游设备也开辟了一片天空。我们的硅芯设备及多晶硅检测设备已经进入国内生产线,而且拥有很高的占有率。未来,我们还将利用在太阳能光伏产业上的积累,逐步向集成电路设备迈进,争取早日为国内IC生产线配套。


今年我们的销售收入将达到3亿元,未来公司将具备年产500台套太阳能光伏设备的生产能力,并用3年-5年时间上市。


 


对外合作提升理工晶科竞争力


 


记者:理工晶科在国内拥有很高的声誉,最近在和国外公司的合作方面也消息频传,请您谈谈公司对外合作的情况。


王俊辉:我们与世界著名的晶体生长设备制造商德国CGS公司在2004年合资成立了西安华德晶体生长设备有限公司,生产全自动高端单晶炉设备。2007年8月,又与全球最大的半导体设备厂商美国应用材料公司签订了营销合作协议及技术合作协议。


 


记者:与CGS合作的初衷是什么?目前进展如何?而与应用材料公司合作基于什么考虑?还会不会与其他国外公司合作?


王俊辉:与CGS公司的合作,当初的定位是针对日本市场开发全自动太阳能设备,以技术为主,产业为辅。德国CGS公司在自动化、产品安全性方面的优势很明显,而理工晶科在机械加工方面具有很大的成本优势,因此双方的合作,是本着优势互补的原则进行的。到目前为止,理工晶科也已经能够生产高端单晶炉产品,因此,西安华德公司的产品定位还会再进一步明确。


而我们与应用材料公司的合作,前期签订的是海外销售协议。我们和应用材料公司合作在技术方面取得很大成功,在共同研制浇铸炉方面也取得很大进展。他们认可我们的核心技术,不会对我们的自主知识产权产生影响,而是会帮助我们提升产品的安全性及品质。大家知道,应用材料是国际知名的设备供应商,他们的管理和设计理念很值得包括我们在内的国内设备厂商学习,和他们合作,会让我们按照国际大公司的行为模式去做,去思考。我们与应用材料的合作只是集中在某个单独的产品和市场,只要是在市场不冲突的情况下,我们会考虑和其他国外公司进行合作。


 


记者:理工晶科的设备都出口到哪些国家和地区?


王俊辉:目前我们的设备已经出口到日本、美国、伊朗、巴基斯坦、印度尼西亚及奥地利,其中,日本是我们出口最多的国家。


责任编辑:电子信息产业网
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